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產品資料

EBARA ESR系列 真空泵維修

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: EBARA ESR系列 真空泵維修
產品型號: ESR100WN
產品展商: EBARA真空泵維修
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

蘇州曼特萊精密電子有限公司提供EBARA ESR100WN真空泵維修以及各類進口真空泵維修。配件確保原裝進口，物美價廉。


EBARA ESR系列 真空泵維修  的詳細介紹
ESR系列是新研發的應用廣泛的羅桿式干式真空泵，對于L/L，SEM等較輕負荷的制程和腐蝕性制程都可以使用。 性能上具有排氣速度可調節，高通信處理功能，從而適應了省功耗，占地面積小，重量輕的工藝要求。
 
特點:
● *適合用于輕負荷的制程及腐蝕性氣體制程      
● 較低的運行成本，省功耗，*大可節省60%（與本公司AA系列相比較）
● 無需N2來做軸密封（ESR20N）
● 小型化，重量輕，*大減少40% （與本公司AA系列相比較）
● 增加泵的轉速控制
● 高性能的通信機能
● 采用高度控制泵的運轉方式
 
 
ESR Series
Specifications Unit ESR20N ESR80WN ESR200WN ESR300WN
Pumping Speed 
50/60 Hz
抽氣速度
 		CFM
46 - 71
141 - 300
353 - 706
1059
L/min
1300 - 2000
4,000 - 8,500
10,000 - 20,000
30,000
M3/Hr
78 - 120
240 - 510
600 - 1,200
1,800
Ultimate Pressure 
50/60 Hz
底壓 		mTorr 5 1.5 1 1.5
Pa 0.67 0.2 0.13 0.2
mBar 0.0067 0.002 0.0013 0.002
Connection
接口
Gas Inlet
NW 40
NW 50
ISO100
NW 100
Gas Outlet
NW 40
NW 40
NW 40
NW 40
Power at Ultimate Pressure
到達底壓時的功率  		KW
0.55 - 0.70
0.8 - 1.9
0.8 - 1.1
2.9
Maximum Power
*大功率 		KW 2.5 4.5 5 7.5
Cooling Water Requirements
冷卻水要求 		Min. Flow Rate 2 2 2 3.5
L/min
Bearing and Dilution N2
隔離和稀釋N2 		Bearing Seals
0 to 12
2 to 12
2 to 12
2 to 12
L/min
Cabinet Dimensions inches
25 x 11 x 12.6
26 x 15 x 25.8
31.1 x 15 x 25.8
33 x 19 x 35
LxWxH
外型尺寸  		mm
635 x 280 x 320
660 x 380 x 655
790 x 380 x 644
(825 x 460 x 880)
Weight
重量 		lbs 200 400 520 860
kg 90 180 250 390

產品名稱：EBARA ESR100WN真空泵維修

蘇州曼特萊精密電子有限公司主營：
一、進口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
5、EBARA(荏原)：ESA系列、ESR系列、EST系列、A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列，EBARA ESR100WN真空泵維修等
6、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
7、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
8、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
9、RIETSCHLE(里其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
10、ULVAC(愛發科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
11、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。

二、進口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵專用維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(荏原)、KASHIYAMAORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、進口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS專用真空油、ADIXEN專用真空油等。
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